SEMI S8 认证（《Safety Guideline for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment》）是半导体制造设备的人体工程学安全标准，旨在通过优化设备的人机交互界面，减少操作人员疲劳和受伤风险，提高设备效率和安全性，适用于半导体制造设备、平板显示器制造设备、自动化物料搬运设备、机器人及相关微电子设备等 。

SEMI S8 认证是半导体制造设备人体工程学方面的认证，具体要求如下：

人体工效学设计：设备应依据人体工效学原理进行设计，确保操作人员在正常使用和维护设备过程中，能够舒适、便捷地操作，减少身体疲劳和受伤风险。例如，操作面板应设置在合适高度和角度，方便操作人员查看和操作，按键力度和行程要符合人体手部操作习惯。

操作空间与可达性：需提供足够的操作空间，使操作人员能够轻松接近设备的各个操作部位、维护点和检修口等，且操作过程中无障碍物阻挡。同时，对于需要频繁操作或维护的部件，应设计在易于触及的位置，避免操作人员因过度伸展或扭曲身体而造成伤害。

可视性要求：设备运行状态、参数显示等信息应清晰可见，便于操作人员实时监控。对于一些关键指标，如温度、压力、运行进度等，应采用醒目的显示方式，如数字显示屏、指示灯等，且显示内容要易于理解和解读。

噪音控制：设备运行时产生的噪音应控制在合理范围内，避免对操作人员造成听力损害和工作干扰。一般要求设备运行噪音不超过特定分贝值，具体数值根据不同类型设备和工作环境而定。

振动限制：设备运行过程中产生的振动不能过大，以免影响操作人员的操作精度和舒适性，同时也防止振动对设备本身的性能和寿命造成影响。例如要求振动幅度 < 1μm@10Hz。

操作力与操作行程：设备上的操作手柄、旋钮、按钮等部件，其操作力和操作行程应符合人体生理特征。操作力不能过大，以免操作人员长时间操作后产生疲劳；操作行程要适中，确保操作动作既不会过于繁琐，又能有效防止误操作。

警示与标识：对于设备上存在潜在危险的部位，如高温、高压、旋转部件等，应设置清晰醒目的警示标识，提醒操作人员注意安全。同时，设备的操作步骤、注意事项等信息也应通过标识或说明牌等形式明确告知操作人员。

环境适应性：设备应能在特定的工作环境中正常运行，且不会对操作人员造成不良影响。例如在千级环境中运行时，要求气态分子污染物（AMC）浓度 < 1μg/m³，电磁干扰强度 < 1V/m。

此外，认证还需进行气流均匀性测试（符合 ISO 14644-3）和自净时间测试（从 ISO 8 级恢复到 ISO 6 级需≤15 分钟）。